近日,“第三代SiC/GaN半導(dǎo)體用關(guān)鍵材料與裝備核心技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”中期研討會(huì)在頂立科技召開。湘能華磊光電股份有限公司董事長(zhǎng)黃奐果,湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司副總經(jīng)理張潔,湖南頂立科技股份有限公司董事長(zhǎng)戴煜、副總經(jīng)理胡祥龍、副總經(jīng)理張池瀾及項(xiàng)目組成員參會(huì)。
該項(xiàng)目是2021年湖南省《政府工作報(bào)告》明確要重點(diǎn)抓好的十大技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目,由頂立科技牽頭,三安半導(dǎo)體、華磊光電共同參與,圍繞我省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈需求,重點(diǎn)攻關(guān)SiC/GaN半導(dǎo)體制備所需的“三高”、“兩涂”、“一機(jī)”關(guān)鍵材料及裝備核心技術(shù)難點(diǎn),實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵材料與裝備的自主可控與產(chǎn)業(yè)化。
三安光電是國(guó)內(nèi)LED行業(yè)的龍頭企業(yè),是全球極少數(shù)擁有從碳化硅襯底到器件、封測(cè)全產(chǎn)業(yè)鏈布局的公司;華磊光電是湖南省唯一一家LED外延、芯片、應(yīng)用產(chǎn)品全產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè);頂立科技專注于特種材料及特種裝備研制近20年,在材料制備工藝和裝備制備技術(shù)相結(jié)合方面具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì);此次三家單位強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手,共同為我省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈賦能。
研討會(huì)上,頂立科技項(xiàng)目經(jīng)理許鵬就項(xiàng)目進(jìn)展、取得的成果及下一步工作安排進(jìn)行了匯報(bào),通過近兩年的共同攻關(guān),已開發(fā)出滿足SiC單晶生長(zhǎng)所需高純碳粉、高純硬氈、高純石墨材料,突破了SiC/TaC涂層“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù),部分產(chǎn)品已通過應(yīng)用驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)中試。后期,頂立科技將按照項(xiàng)目要求進(jìn)度研發(fā)及優(yōu)化,三安半導(dǎo)體、華磊光電將繼續(xù)積極配合完成產(chǎn)品應(yīng)用驗(yàn)證工作。
本項(xiàng)目以第三代半導(dǎo)體需求為牽引,針對(duì)制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡鏈處”“斷鏈處”開展聯(lián)合技術(shù)攻關(guān),研制具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的第三代半導(dǎo)體用關(guān)鍵材料與裝備,并為其產(chǎn)業(yè)化實(shí)施打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),對(duì)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈的整體升級(jí)、增強(qiáng)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控、助推我省“三高四新”和“強(qiáng)省會(huì)”戰(zhàn)略實(shí)施具有重要意義。